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半導(dǎo)體行業(yè)安裝深國(guó)安在線式四溴化碳?xì)怏w檢測(cè)儀的核心作用

更新時(shí)間:2025-10-22      點(diǎn)擊次數(shù):136

四溴化碳(CBr?)作為一種高純度鹵代烴化合物,在半導(dǎo)體行業(yè)主要產(chǎn)生于金屬有機(jī)氣相外延(MOVPE)工藝有機(jī)合成環(huán)節(jié)。在MOVPE技術(shù)中,四溴化碳常被用作p型摻雜劑的前驅(qū)體,通過(guò)精確控制其蒸氣濃度,向AlGaAs、InGaAs等半導(dǎo)體合金材料中引入碳元素,以調(diào)節(jié)材料的電學(xué)性能,滿足高頻晶體管(HBT)等器件對(duì)高摻雜濃度的需求。此外,在光刻膠剝離、精密清洗等工藝中,四溴化碳因其優(yōu)異的溶解性能,可能作為溶劑或反應(yīng)中間體使用,過(guò)程中若發(fā)生泄漏或不反應(yīng),會(huì)導(dǎo)致其以氣體形式釋放到生產(chǎn)環(huán)境中。

值得注意的是,四溴化碳的物理特性(如熔點(diǎn)88~90℃、沸點(diǎn)190℃)使其在常溫下易升華形成蒸氣,尤其在高溫工藝環(huán)節(jié)(如晶圓沉積)中,飽和蒸氣壓可達(dá)5.32kPa(96.3℃),增加了擴(kuò)散至空氣中的風(fēng)險(xiǎn)。


四溴化碳被國(guó)際化學(xué)品安全卡(ICSC)列為高毒物質(zhì),其危害主要體現(xiàn)在以下方面:

1. 急性毒性

半導(dǎo)體車(chē)間多為密閉潔凈環(huán)境,空氣循環(huán)系統(tǒng)可能導(dǎo)致泄漏氣體積聚。四溴化碳的職業(yè)接觸限值極低(ACGIH TWA:0.1ppm,STEL:0.3ppm),一旦超過(guò)閾值,短時(shí)間內(nèi)即可造成健康損害。實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)可及時(shí)觸發(fā)報(bào)警,避免群體性中毒事故。


深國(guó)安在線式四溴化碳?xì)怏w檢測(cè)儀的核心作用

深國(guó)安SGA系列在線式氣體檢測(cè)儀針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的嚴(yán)苛環(huán)境,提供全流程安全監(jiān)測(cè)解決方案,具體功能如下:

1. 實(shí)時(shí)精準(zhǔn)監(jiān)測(cè),預(yù)警泄漏風(fēng)險(xiǎn)

2. 智能聯(lián)動(dòng)與數(shù)據(jù)管理


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